工

藝

參

數

類別

項目

參數

備注

激光器

波長(nm)

1064

激光器3年故障換新

工作功率

30~90% 的額定功率

頻率(KHZ)

40~150(可調)

脈沖長度(ns)

50~250

激光器品牌

中科院訂制劃片專用

激光壽命(h）

20000

電池規格

尺寸

156.5±3mm ( 單多晶 )

厚度

0.15~0.3mm

同批電池厚度差

±20um

劃片工藝參數要求

劃片角度/精度

80~90 度/ ±80um

采用500萬巴斯勒相機12焦距鏡頭

劃片深度

0~100%(可調)

劃片深度均勻性

±10 um

線寬(um)

≤35

熱影響區域(um)

單晶≤80

多晶≤100

劃片后外觀質量

隱裂/破片/V型缺角/劃傷等≤0.1%